在工业中常用的一种PVD(物理气相沉积)方法用于沉积氮化硬质涂层是电弧(Arc)方法。
电弧(Arc)将靶材料(如高纯度金属,例如钛或铬)蒸发,在高真空中与反应气体反应,沉积在基底表面上,形成几微米厚的非常附着力强、极硬的耐磨保护层,具有极其多变的特性。
PVD工艺是在工具投入生产过程之前进行的最后优化步骤。通过控制在500°C以下的处理温度,可以避免对工具钢的微观结构、变形或硬度降低的影响。对于特定的低回火工件或非铁金属,可以进一步降低涂层温度。
最先进的设备技术使得双层和混合涂层的沉积成为可能。