等离子氮化

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等离子氮化是最环保的表面硬化工艺之一，因为它不使用有毒气体。

一种含有氢和氮的气体混合物在低压下流入炉膛，通过施加电压被电离（辉光放电）。电离的气体称为等离子体。辉光放电产生的离子被加速到工件表面，将溶解的氮沉积在表面，并形成金属氮化物，从而提高表面硬度。

相对较低的处理温度保证了较小的变形。 

等离子氮化能够将连接层的形成降至最低，使得经过轻微后处理的等离子氮化表面成为理想的PVD涂层基材。