Ein in der Industrie häufig eingesetztes PVD Verfahren zur Abscheidung nitridischer Hartstoffschichten ist das Arc Verfahren.
Der Lichtbogen (Arc) verdampft das Targetmaterial (hochreine Metalle wie z.B Titan oder Chrom), welches sich im Hochvakuum mit dem Reaktionsgas verbindet und auf der Substratoberfläche als einige Mikrometer dünne, sehr haftfeste und extrem harte Verschleißschutzschicht mit äußerst variablen Eigenschaften niederschlägt.
Das PVD Verfahren ist der letzte Schritt zur Werkzeugoptimierung, bevor diese im Produktionsprozess zum Einsatz kommen. Durch eine Prozesstemperatur unterhalb von 500°C ist eine Beeinflussung der Mikrostruktur der Werkzeugstähle, Verzug oder Härteabfall ausgeschlossen. Für spezielle niedrig angelassene Werkstoffe oder Nichteisenmetalle ist eine weitere Absenkung der Beschichtungstemperatur möglich.
Modernste Anlagentechnologie ermöglicht die Abscheidung von Duplex – und Hybridschichten.